在大型真空排氣臺招標(biāo)文件中對其中存在異議的部分進(jìn)行技術(shù)澄清如下：
第4頁招標(biāo)內(nèi)容及范圍中具體要求：
2、主真空極限真空達(dá)到10-7Pa量級；（空載）
泵組閥門要求：
（1）預(yù)抽真空2200L/S分子泵(進(jìn)口) +15L/S干泵(進(jìn)口)組成；
（2）主抽真空為1000L/S離子泵(進(jìn)口)；
（3）2臺氣動超高真空插板閥DN160（進(jìn)口）。
3、外真空：10*10-1~10*10-2Pa；
泵組閥門要求：3臺1600L/S分子泵+3臺16L/S直聯(lián)泵和相應(yīng)閥門組成。
要求壓升率：內(nèi)真空壓升率：0.0067 Pa/h；
外真空壓升率：0.067 Pa/h。
熱態(tài)真空度：
內(nèi)真空系統(tǒng)熱態(tài)極限真空度優(yōu)于5×10-4
Pa（烘箱500℃保溫10小時）。
外真空系統(tǒng)熱態(tài)極限真空度優(yōu)于7×10-3
Pa（烘箱500℃保溫5小時）。
第7頁投標(biāo)人須知前附表第4質(zhì)量要求：
2、主真空極限真空達(dá)到10-7Pa量級；（空載）
3、外真空：10*10-1~10*10-2Pa；
壓升率：內(nèi)真空壓升率：0.0067 Pa/h；
外真空壓升率：0.067 Pa/h。
第19頁合同主要條款的一、產(chǎn)品名稱、商標(biāo)、型號、數(shù)量及金額（第四行、第五行）：
主真空極限真空達(dá)到10-7Pa量級；（空載）
泵組閥門要求：
（1）預(yù)抽真空2200L/S分子泵(進(jìn)口) +15L/S干泵(進(jìn)口)組成；
（2）主抽真空為1000L/S離子泵(進(jìn)口)；
（3）2臺氣動超高真空插板閥DN160（進(jìn)口）。
外真空：10*10-1~10*10-2Pa；修改成優(yōu)于1.0×10-3 Pa（空載）
泵組閥門要求：3臺1600L/S分子泵+3臺16L/S直聯(lián)泵和相應(yīng)閥門組成。
要求壓升率：內(nèi)真空壓升率：0.0067
Pa/h；
外真空壓升率：0.067 Pa/h。
熱態(tài)真空度：
內(nèi)真空系統(tǒng)熱態(tài)極限真空度優(yōu)于5×10-4
Pa（烘箱500℃保溫10小時）。
外真空系統(tǒng)熱態(tài)極限真空度優(yōu)于7×10-3
Pa（烘箱500℃保溫5小時）。
第22頁招標(biāo)項(xiàng)目要求三、技術(shù)要求中主要技術(shù)參數(shù)要求：
2、主真空極限真空達(dá)到10-7Pa量級；（空載）
泵組閥門要求：
（1）預(yù)抽真空2200L/S分子泵(進(jìn)口) +15L/S干泵(進(jìn)口)組成；
（2）主抽真空為1000L/S離子泵(進(jìn)口)；
（3）2臺氣動超高真空插板閥DN160（進(jìn)口）。
3、外真空：10*10-1~10*10-2Pa；
泵組閥門要求：3臺1600L/S分子泵+3臺16L/S直聯(lián)泵和相應(yīng)閥門組成。
要求壓升率：內(nèi)真空壓升率：0.0067 Pa/h；
外真空壓升率：0.067 Pa/h。
熱態(tài)真空度：
內(nèi)真空系統(tǒng)熱態(tài)極限真空度優(yōu)于5×10-4
Pa（烘箱500℃保溫10小時）。
外真空系統(tǒng)熱態(tài)極限真空度優(yōu)于7×10-3
Pa（烘箱500℃保溫5小時）。
8、排氣后設(shè)備需電激活：要求1500W功率。（電源另配置）
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來源：中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)?編輯：ecp.cnnc