招標(biāo)公告
1. 招標(biāo)條件
本招標(biāo)項(xiàng)目介質(zhì)層淀積設(shè)備（SIH4+TEOS） 該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對(duì)介質(zhì)層淀積設(shè)備（SIH4+TEOS）進(jìn)行國(guó)內(nèi)公開(kāi)招標(biāo)。
2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍
2.1 招標(biāo)編號(hào)：ZKX20240429A022
2.2 招標(biāo)項(xiàng)目名稱(chēng)：介質(zhì)層淀積設(shè)備（SIH4+TEOS）。
2.3 數(shù)量：1臺(tái)。
2.4 主要功能要求：該設(shè)備為國(guó)產(chǎn)全新8寸SIH4+TEOS混源的介質(zhì)淀積設(shè)備，自帶SMIF（或同類(lèi)裝置），RFID及EAP通訊功能，配置三個(gè)PECVD TWIN Chamber（2個(gè)SIH4腔，1個(gè)TEOS腔，所有腔室均配置LH+HF組件），擁有PEOX工藝、SRO工藝、SIN工藝、SRN工藝、SION工藝、FSG工藝和USG工藝等功能，每個(gè)Chamber擁有In-situ N2 plasma處理功能。
2.5 交貨
2.6 交貨期：合同生效后150天。
3. 投標(biāo)人資格要求
3.1投標(biāo)人須為具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國(guó)境內(nèi)注冊(cè)的法人或其他組織，具備有效的營(yíng)業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書(shū)或其它營(yíng)業(yè)登記證書(shū)。
3.2業(yè)績(jī)要求：投標(biāo)人提供本次投標(biāo)同型號(hào)或同系列的設(shè)備從2020年至今的任意一年的銷(xiāo)售業(yè)績(jī)，且一年中累計(jì)銷(xiāo)售量至少10臺(tái)；須提供設(shè)備采購(gòu)合同復(fù)印件，其內(nèi)容須體現(xiàn)合同首頁(yè)及簽字或蓋章頁(yè)（合同供貨方可以是本次投標(biāo)人也可以是本次所投設(shè)備制造商）、合同簽訂時(shí)間、合同標(biāo)的物及其型號(hào)。
3.3 其它要求：本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)。投標(biāo)人若為代理商，則須提供所投產(chǎn)品制造商的授權(quán)書(shū)。
3.4本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
3.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)
