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招標項目編號：0613-244022086875
項目名稱：光學臨近效應修正及可制造性設計和物理驗證成套工具軟件
項目名稱（英文）：OPC/DFM
招標機構：上海機電設備招標
招標方式：公開招標
招標結果：重新招標
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