上海市機械設備成套（集團） 對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024-02-08在公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:上?？萍即髮W擬采購電子束光刻機資金到位或資金來源落實情況:招標人資金已到位項目已具備招標條件的說明:具備招標條件2、招標內容招標項目編號:1639-244122250027/01招標項目名稱:電子束光刻機項目實施地點:中國上海市招標產品列表(主要設備):

序號	產品名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	電子束光刻機	1	*設備可實現高分辨電子束曝光，最小特征尺寸≤8 nm * 采用肖特基熱場發射電子束源，加速電壓不大于30 KV，最小可調節步進為10 V * 在20kV下，最小束斑直徑不大于1.6 nm

3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:1) 獨立法人資格或其他組織。 2) 投標人是專業生產本次所需設備的制造商，或由制造商指定一個代理商作為本次投標的唯一授權代理。 3) 投標人提供的投標機型應是原產地的全新產品； 4）投標人或投標貨物的制造商須具有從事類似貨物生產銷售的經驗； 5）本項目預算為510萬元。（項目預算包含設備交付使用前的一切相關費用，投標單位的投標報價須充分考慮包括設備本身費用以及相伴隨的外貿進口等費用,同時須充分考慮匯率波動風險等可能導致超預算的因素）。是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
未曾在中國電力招標采購網（m.yzpb.com.cn）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載投標文件！

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