對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標,于2023-11-24在 公告。本次招標采用傳統招標方式,現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:上海交通大學采購1套感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(ICPECVD),該設備通過感應耦合等離子體(ICP)方式產生高密度等離子體,在硅及化合物半導體等襯底上沉積高質量的介質薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等)。資金到位或資金來源落實情況:已落實項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內容招標項目編號:0773-2341SHHW0110招標項目名稱:上海交通大學感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(ICPECVD)項目實施地點:中國上海市招標產品列表(主要設備):
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編輯:chinabidding.co
序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
1 | 感應耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(ICPECVD) | 1套 | 2.1 反應腔室:2.1.1 由整塊鋁錠加工制成、無焊縫、低漏率。側壁帶加熱功能。★2.1.2 樣品尺寸:最大8英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規則碎片;不同尺寸樣片之間的切換、無需反應腔室的開腔破真空。其余詳見“第八章 貨物需求一覽表及技術規格” | 預算金額:人民幣335.00萬元。 最高限價:人民幣335.00萬元。 交貨期:簽訂合同后11個月內 交付 郵件主題包含:投標人名稱+項目編號+項目名稱,郵件附件包含:網上轉賬憑證。發 5、投標文件的遞交投標截止時間(開標時間):2023-12-15 09:30投標文件 評標結果將在必聯網和 公示。7、聯系方式招標人:上海交通大學地址:上海市閔行區東川路800號 |
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