招標公告
深硅刻蝕機項目已具備招標條件。資金來源自籌資金,出資比例共為100%。中科信工程咨詢(北京) (招標代理機構)受淮海工業(yè)集團 (招標人)的委托,對該項目進行國際公開招標采購。 1. 招標范圍 1.1 貨物名稱:深硅刻蝕機 1.2 招標編號:0779-24400724A005 1.3設備技術要求: 1)設備配有1套深硅刻蝕工藝腔室,主要包括主機、加熱系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、靜電吸盤、手臂傳輸腔室、射頻源等; 2)適用工藝類型:硅-玻璃鍵合片和硅片刻蝕; 3)適用晶圓尺寸:4英寸晶圓; 4)夾具類型:4英寸靜電吸盤及傳輸手臂; 5)硅-玻璃鍵合片(硅結構有背腔),在暴露面積≥30%時,刻蝕后表面干凈,無“掉渣”及“長草”現(xiàn)象; 6)工控系統(tǒng)基于 Windows7 及以下版本的操作系統(tǒng); 7) 硅-玻璃鍵合片靜電吸附良好,氨氣壓力10Torr時,氨氣流量≤5sccm。 1.4 數(shù)量:1臺 1.5 交貨期:合同簽訂后12個月內(nèi) 1.6 項目現(xiàn)場:山西省長治市潞州區(qū)淮海工業(yè)集團 。 2. 對投標人的資格要求 2.1 投標人具有獨立法人資格,提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。 2.2本次招標接受代理商投標,代理商應獲得制造商的有效授權,須提供正本(制造商的有效授權書包括制造商直接開具的;或制造商在中華人民共和國關境內(nèi)的獨資公司開具的;或經(jīng)制造商授權并允許其再授權的單位開具的)。 2.3本次招標不接受聯(lián)合體投標。 2.4投標人必須向招標代理機構 3. 招標 4.未在中國電力招標采購網(wǎng)(m.yzpb.com.cn)上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后的在招標會員區(qū)根據(jù)招標公告的相應說明獲取招標文件!
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來源:中國電力招標采購網(wǎng)
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編輯:365trade