招標公告

深硅刻蝕機項目已具備招標條件。資金來源自籌資金，出資比例共為100%。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受淮海工業集團 （招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物名稱：深硅刻蝕機

1.2 招標編號：0779-24400724A005

1.3設備技術要求：

1)設備配有1套深硅刻蝕工藝腔室，主要包括主機、加熱系統、冷卻系統、真空系統、靜電吸盤、手臂傳輸腔室、射頻源等;

2)適用工藝類型:硅-玻璃鍵合片和硅片刻蝕；

3)適用晶圓尺寸:4英寸晶圓;

4)夾具類型:4英寸靜電吸盤及傳輸手臂;

5)硅-玻璃鍵合片(硅結構有背腔)，在暴露面積≥30%時，刻蝕后表面干凈，無“掉渣”及“長草”現象;

6)工控系統基于 Windows7 及以下版本的操作系統；

7) 硅-玻璃鍵合片靜電吸附良好，氨氣壓力10Torr時，氨氣流量≤5sccm。

1.4 數量：1臺

1.5 交貨期：合同簽訂后12個月內

1.6 項目現場：山西省長治市潞州區淮海工業集團 。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業登記等許可經營的證明文件。

2.2本次招標接受代理商投標，代理商應獲得制造商的有效授權，須提供正本（制造商的有效授權書包括制造商直接開具的；或制造商在中華人民共和國關境內的獨資公司開具的；或經制造商授權并允許其再授權的單位開具的）。

2.3本次招標不接受聯合體投標。

2.4投標人必須向招標代理機構

3. 招標

4.

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來源：中國電力招標采購網
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編輯：365trade