1.1項目概況
青海黃河水電新能源分公司是一家電子級多晶硅生產企業,電子級多晶硅產能3300噸/年。現有電子級多晶硅產品已批量應用至3-6英寸、8英寸半導體硅片制造領域,并通過12英寸半導體硅片實驗室測試和小批量供貨。本項目旨在現有電子級多晶硅生產線的基礎上,借助先進的數值模擬軟件,對CVD還原爐開展熱場、流場穩定性及硅棒致密性研究,主要包括對9對棒還原爐進行三維建模,研究最佳的噴嘴分布、尺寸以及進料配比和電流曲線,研究最穩定的流場、熱場,提高還原過程CVD化學氣相沉積的均勻性和穩定性,降低電子級多晶硅棒的米花比例,進而提高硅棒致密度和可利用率,同時形成9對棒還原爐建模分析和工藝優化技術方案。
1.2項目招標范圍及要求
1.2.1招標范圍
1.2.1.1青海黃河上游水電開發有限責任公司新能源分公司現有9對棒還原爐生產裝置基礎上,利用先進的數值模擬軟件對還原爐內熱場、流場穩定性及硅棒致密性進行建模分析,模擬項目主要包括9對棒還原爐內氣體流動、輻射傳熱、傳導傳熱、對流傳熱、電流棒加熱以及對硅沉積的氣相和表面化學反應等內容,研究確定最佳的噴嘴分布、尺寸以及進料配比和電流曲線,降低電子級多晶硅棒的雜質含量及米花比例,提高硅棒致密度和可利用率,同時形成9對棒還原爐建模分析和工藝優化技術方案。
1.2.1.2研究要求
1.2.1.2.1通過對9對棒還原爐內噴嘴建模分析,在不改變還原爐結構、爐內噴嘴布置及電源系統等硬件條件的情況下,對噴嘴的孔徑、高度、結構進行優化,開展爐內流場、熱場模擬,使爐內溫度和邊界層厚度不均勻性得到優化。
1.2.1.2.2通過對9對棒還原爐內進料配比和電流曲線進行分析,計算得出最適宜的工藝配方,提升硅棒沉積速率,提高沉積層致密度,降低電子級多晶硅棒的米花比例。
1.2.1.2.3提供項目實施階段的模擬軟件臨時許可使用權及相關培訓技術服務。
1.2.2項目工期:
合同生效后3個月內提交供買方審核的初版技術方案;買方審核并出具修改意見后,于7日內提供最終版技術方案。
1.3資金來源
本項目利用自有資金建設,資金已落實。
1.4投標人資格
1.4.1法人地位
投標人必須是在中華人民共和國市場監管部門注冊的,具有獨立法人和一般納稅人資格的多晶硅生長、單晶硅生長等專業領域定制化的模擬仿真軟件開發(或授權)項目合作和技術咨詢服務企業或代理商。
本項目不接受聯合體投標,不允許轉讓及分包。
1.4.2商業信譽
投標人應具有良好的商業信譽。不存在被列為失信被執行人的情形,具體認定以信用中國網站檢索結果為準。
1.5業績
投標人在投標基準日期近五年內,具有至少1項在多晶硅還原、硅單晶生長等專業領域技術服務業績(附合同復印件)。
1.6招標文件的獲取
1.6.1招標文件發售方式
本項目實行在線售賣招標文件。凡有意參加投標者,請于購買招標文件時間內進入報名參與購買招標文件,不接受現場購買。
1.6.2招標文件發售時間
2024年2月23日至2024年2月29日。